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            新物理氣相沉積應用的孔板流量計流量控制

            作者: 來源: 發布時間:2019-08-27 10:37:24
            你知道陽極氧化和發藍的一個問題嗎?雖然它可以防止腐蝕,但它可以刮掉。大多數陽極氧化不會強化表面。鍍鉻是另一種選擇,但鉻-6是有毒的,仍然可以磨損,凹坑和剝落。真空沉積系統制造商Duralar希望使用物理氣相沉積開發一種快速的類金剛石涂層工藝,這種工藝比任何一種都更硬,更耐用。它可用于防止金屬部件的腐蝕,腐蝕和磨損。
             
            假設,像Duralar一樣,您是物理氣相沉積創新者。只是為了讓生活變得有趣,讓我們假裝你沒有無限的時間,而且金錢不會在樹上生長(!)。研發意味著測試,允許新的阻隔和反應氣體配方。您需要改變流量比和氣體 - 同時保持準確的流量,因此成功將是可重復的。您不能繼續為每次測試購買新的真空流量孔板流量計,并且您無法承擔重新校準每個新配方的停機時間。你得到了照片。
             
            Duralar開始使用通用真空沉積系統,但六個內置熱孔板流量計中沒有一個針對其特殊氣體四甲基硅烷(TMS)(汽化液體)進行校準。事實是,這些孔板流量計無法準確地更換氣體,無需重新校準的停機時間。所以Duralar打電話給Alicat。雖然TMS不在我們的標準清單上,但通過一些工程設計,我們為它們提供了耐腐蝕流量孔板流量計,并為TMS定制了氣體校準。
             
            他們使用孔板流量計改造了他們的系統 - 它是一個替代品 - 他們現在可以確保他們的TMS流量的準確性將保持很高,無論是滿量程流量還是低于滿量程的0.5%。這是因為Alicat的氣體選擇不僅僅是單點的k因子偏移,而是基于NIST粘度表的完整性能曲線。展望未來,Duralar無需擔心因工廠溫度或壓力變化而導致的不準確性,因為孔板流量計中的閉環傳感器可補償體積變化 - 與原始熱孔板流量計不同。
             
            不久,Duralar正在通過將腔室抽真空來生產涂層部件,在恰好適量的氣體中流動,添加材料蒸汽并將其轉化為與部件結合的等離子體。在物理氣相沉積中,需要真空,因為化學物質在大氣氣體存在下不起作用。
            一體化孔板流量計.jpg
            接下來,他們想開發一種在管子和管道內沉積這種薄涂層的工藝。在管道內部涂層,可以減少磨損和腐蝕 - 非常適合在管道中流動研磨液,或保護步槍槍管內部免于生銹。該技術很巧妙:密封管的末端,管的內部成為真空室。需要的是,您需要能夠改變窄管內產生等離子體的放電位置,以獲得完整的涂層。因此,更多的原型設計,更多的實驗和Alicat再次拯救。
             
            通過使用MCS流量孔板流量計用于腐蝕性TMS和另外兩個Alicat MC 孔板流量計,他們能夠隨意更換氣體,從多達98種內置類型和20種用戶可定制的混合物中進行選擇 - 甚至更多的腐蝕- 孔板流量計。
             
            然后,他們使用我們可下載的LabVIEW驅動程序來構建真空工藝步驟,從遠程筆記本電腦控制MFC及其關閉電磁閥。在適當的時候,他們完善了這個過程,并開始建立涂層系統。現在,您可以為您的金屬零件訂購類似鉆石的涂層 - 或者為其他人提供服務系統 - 真空鍍膜比陽極氧化更耐用,同時比鍍鉻更快更硬。由于Alicat的流量孔板流量計適應性,物理氣相沉積變得越來越好。
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